超声低温等离子体在太阳能电池表面的改性作用  

作　　者：张信华 杜建建 杜文汉 贺华[4] 

机构地区：[1]常州工学院光电工程学院,江苏常州213001 [2]浙江大学信息与电子工程学院,浙江杭州310058 [3]苏州恩奇医疗器械有限公司,江苏苏州215011 [4]西安电子科技大学机电工程学院,陕西西安710071

出　　处：《中国新技术新产品》2020年第2期4-7,共4页New Technology & New Products of China

摘　　要：传统硅基太阳能制备工艺生产出的多晶硅太阳能电池的光电转换效率在17%左右[1],难以突破。利用超声低温等离子体设备对电池表面进行处理,结果显示,经过处理后,多晶硅太阳能电池的峰值功率与光电转换效率提升了5%左右。由此推测,利用超声低温等离子体处理多晶硅电池表面的方法,具有使氮化硅表面钝化、去除磷硅玻璃、清洗电池片以及优化表面绒面等作用,因此,利用该技术可提升太阳能电池片的产品性能。

关 键 词：超声低温等离子体 多晶硅太阳能电池 电池表面 

分 类 号：O434[机械工程—光学工程]