微悬臂梁传感器在气体检测方面的应用  

作　　者：张钊 梅永松 张毅 滕艳华[1] 

机构地区：[1]安徽理工大学材料科学与工程学院

出　　处：《科技风》2020年第9期22-22,共1页

基　　金：国家级大学生创新创业训练计划项目(201910361065)

摘　　要：本文对微悬臂梁传感器在三类气体检测领域中的研究现状进行梳理,对微悬臂梁检测的工作原理和工作模式进行了叙述,并对该类传感检测技术的前景做了展望,为微机电系统中传感技术的应用研究提供参考.

关 键 词：气体检测 工作模式 微悬臂梁 

分 类 号：TP2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]