自动集中监控系统在集成电路生产线中的应用  

作　　者：苗涛[1] 张军[1] 姬小兵 

机构地区：[1]沈阳芯源微电子设备有限公司

出　　处：《中国高新科技》2020年第3期99-100,共2页

摘　　要：介绍了自动集中监控系统(AMS)的主要架构、系统特点、监控设备类型和系统组成,通过多种监控分析图表,实现从不同视角监控生产过程状态,并分析了监测结果,证明了该设备监控系统具有较高的准确性和实用性。

关 键 词：AMS 集成电路 效率图表 

分 类 号：TP3[自动化与计算机技术—计算机科学与技术]