单晶炉氩气回收工艺研发  

作　　者：文顺清 

机构地区：[1]杭州制氧机研究所有限公司

出　　处：《深冷技术》2019年第6期42-43,共2页

摘　　要：针对单晶硅的生产工艺特点,为达到氩气循环利用、降低生产成本的目的,杭氧研发了氩气回收装置,回收利用单晶炉后的粗氩气。详细介绍氩气回收装置的工艺流程及其特点。

关 键 词：氩气 回收装置 工艺流程 单晶炉 

分 类 号：TQ1[化学工程]