原子力显微镜探针表征烷烃及正烷类有机化合物的研究  

Atomic force microscope probe characterization of alkanes and n-alkanes materials

作　　者：周洪雷[1] 梁桁楠[1] 杨辉[1] Zhou Honglei;Liang Hengnan;Yang Hui(College of Physics,Jilin University,Changchun 130012,China)

机构地区：[1]吉林大学物理学院,长春130012

出　　处：《分析仪器》2020年第2期123-127,共5页Analytical Instrumentation

摘　　要：原子力显微镜(AFM)作为一种重要的科研、生产工具被广泛使用,其测量精度很大程度上决定于所使用的探针针尖的尖锐度。本研究使用标准微机械加工工艺在低应力氮化硅悬臂上通过各向异性湿法刻蚀形成硅针尖。通过对三十六烷烃和正六十烷的表征测量,验证了探针针尖的纳米尺度尖锐度。The measurement accuracy of atomic force microscope(AFM)depends largely on the sharpness of the probe tip.This study concentrates on the manufacture of AFM probe with a single crystal silicon tip formed by anisotropic wet etched on low stress silicon nitride cantilever.The characterization on alkanes and n-alkanes materials using the probe can give nanometer scale probe tip sharpness.

关 键 词：探针 原子力显微镜 烷烃 正烷 

分 类 号：TQ221[化学工程—有机化工]