声表面波谐振器设计与仿真  

作　　者：李良秋 董志贵 

机构地区：[1]中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海201203 [2]辽宁科技学院创新创业学院,辽宁本溪117004

出　　处：《信息记录材料》2020年第3期161-162,共2页Information Recording Materials

摘　　要：综合声表面波谐振器设计的研究方法与思路,给出体声波和声表面波的划分方法,介绍了声表面波的机电耦合系数、压电薄膜基片的厚度与波长对声表面波性能的影响关系式,仿真了Cu电极ScAlN薄膜基片谐振器机电耦合系数与薄膜厚度的关系。

关 键 词：声表面波 谐振器 CU电极 Sc Al N薄膜 

分 类 号：TN70[电子电信—电路与系统]