洁净室化学过滤器的选型及使用效果研究  

作　　者：黄秀琴 李亚东[1] 

机构地区：[1]苏州大学材料科学与化学化工学部,江苏苏州215000 [2]美埃(中国)环境净化科技有限公司

出　　处：《科学技术创新》2020年第14期51-52,共2页Scientific and Technological Innovation

摘　　要：随着半导体工业的飞速发展,最小线宽的尺寸越来越小,进入纳米级时代,从而相应的对洁净室环境的控制越加严格。洁净室环境内的悬浮气态分子污染物AMC(Airborne Molecular Contaminants)在生产过程中对良率会产生影响,因此对AMC进行控制是十分必要的。在洁净室进风箱或风机过滤单元FFU(Fan Filter Unit)进风端安装化学过滤器可以较好的解决洁净室内AMC的困扰。本文介绍了洁净室内化学过滤器的选型介绍及使用案例。

关 键 词：洁净室 气态分子污染物 化学过滤器 选型 

分 类 号：TU834.83[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]