彩色滤光膜在显示中的应用及其制作对曝光性能的需求研究  

作　　者：李会丽 朱文 曹进[3] 

机构地区：[1]上海微电子装备(集团)股份有限公司 [2]上海仪电显示材料有限公司 [3]上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室

出　　处：《电子世界》2020年第10期34-35,38,共3页Electronics World

摘　　要：彩色滤光膜在液晶显示(LCD)和有机发光显示(OLED)结构中都起到非常重要的作用.显示技术不同,彩色滤光膜的功能也不同.彩色滤光膜的制作基本采用曝光技术,随着显示技术的演进,使得彩色滤光膜的制作对曝光性能需求不断变化,业界采用接近式和投影式曝光两种设备结合的工艺制程,来满足不同分辨率和套刻精度的滤光膜制作.

关 键 词：彩色滤光膜 有机发光显示 投影式 工艺制程 曝光 性能需求 不同分辨率 

分 类 号：TP3[自动化与计算机技术—计算机科学与技术]