林德启用全新制氮机,为积塔半导体供气  

作　　者：Grace 

机构地区：[1]不详

出　　处：《上海化工》2020年第3期58-58,共1页Shanghai Chemical Industry

摘　　要：林德集团最近宣布,其为积塔半导体建造的一台制氮机在上海开机成功,林德与积塔半导体签订了一份为期20年的超高纯工业用气供应合约,目前开机运行的为计划建造的两台高纯制氮机中的第一台,第二台预计将于2022年上线启用。该台制氮机位于上海临港产业区.

关 键 词：制氮机 半导体 超高纯 启用 

分 类 号：TQ116.15[化学工程—无机化工] TN30[电子电信—物理电子学]