接触式光刻机汞灯电源功率大幅波动故障处理  

作　　者：申承志[1] 张海明[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051

出　　处：《设备管理与维修》2020年第13期57-58,共2页Plant Maintenance Engineering

摘　　要：某型号接触式光刻机汞灯电源在通道1恒光强模式时,电源功率大幅波动,光的亮度忽明忽暗。使用交换法、恢复参数法找到故障原因,采用合适方法解决故障。

关 键 词：汞灯电源 滤光片 光强传感器 接触式光刻机 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]