自动光学检测机在彩膜面板Mask Common检测中的应用研究  

Research of automatic optical inspection in mask common detection of Color Filter

作　　者：薛婕 王旭 石蓬 张文富 塔拉 XUE Jie;WANG Xu;SHI Peng;ZHANG Wen-fu;TA La

机构地区：[1]北京京东方显示技术有限公司,北京100176

出　　处：《制造业自动化》2020年第7期28-30,45,共4页Manufacturing Automation

摘　　要：彩色滤光膜(CF)作为薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的重要组成部分,其面板质量的高低对用户的观看体验有着决定性影响。简述了自动光学检测机(AOI)在彩膜面板微观共通缺陷(Mask Common)检测、识别、判断和继承等功能中的重要应用。通过缺陷检测阈值的设定与优化实现Mask Common 100%拦截,通过加强设备报警与生产的联动监测,降低彩膜面板的良率损失,提高彩膜面板在下游工序的直通率。

关 键 词：彩色滤光膜 自动光学检测机 共通缺陷 

分 类 号：TP29[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]