第二十讲 真空离子镀膜  

No.20:Vacuum ion plating

作　　者：张以忱[1] ZHANG Yi-chen

机构地区：[1]东北大学,辽宁沈阳110004

出　　处：《真空》2020年第4期95-96,共2页Vacuum

摘　　要：(接2020年第3期第96页)13.5.3过滤式真空电弧离子镀膜技术A过滤式电弧离子镀膜机结构型式典型的过滤式真空电弧离子镀设备结构如图47所示。其核心结构是一个A ksenov过滤器。它是一个具有螺旋管电磁线圈的不锈钢或石英弯管。电磁线圈提供控制等离子体流运动的外加磁场,该磁场方向是沿管的轴向方向。这一弯管是该技术区别于传统真空电弧离子镀膜的显著标志。

关 键 词：真空电弧离子镀 电磁线圈 过滤式 等离子体流 磁场方向 螺旋管 弯管 膜技术 

分 类 号：O484[理学—固体物理] TB43[理学—物理]