基于TRIZ的高纯电子级溴化氢防腐纯化装置的创新设计  

作　　者：马建修 靖宇 孙加臣 

机构地区：[1]天津绿菱气体有限公司,天津300457 [2]天津市科学学研究所,天津300011

出　　处：《科学技术创新》2020年第26期52-55,共4页Scientific and Technological Innovation

基　　金：得到科技部创新方法工作专项——“天津市创新方法推广应用与示范(项目编号:2017IM010800)”的支持;2019年天津市重点研发计划科技支撑重点项目(项目编号:19YFZCGX00050)的资助;绿菱作为联合体成员之一,承担中芯国际牵头主持的2018年工业转型升级资金(部门预算)——国家新材料生产应用示范平台建设项目之课题3“集成电路工艺用材料生产应用示范平台”(项目编号:TC180A6MR),受到验证平台的支持。

摘　　要：溴化氢气体对装置的强腐蚀性难题一直制约着国内外企业的产业化发展,目前适用于该装置的设备材料选型、结构设计与特殊加工技术的改进手段相对有限。基于TRIZ方法,通过功能分析、冲突和物场分析,运用冲突矩阵、分离原理、76个标准解、剪裁等工具,提出了一系列的创新性设计方案。对设备材质进行了科学设计、简化了工艺系统、实现了多功能性,既提高了设备的耐腐蚀性,又节省了企业投资成本。本工作可以对强腐蚀性气体为背景的分离产业化提供科学的解决方案。

关 键 词：TRIZ 防腐 创新设计 溴化氢 

分 类 号：TE832[石油与天然气工程—油气储运工程] TP274.4[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]