关于高纯铜中低碳含量测定方法探究报告  

作　　者：刘朝方 庞欣 杨永刚 吕超 刘刚[2] 

机构地区：[1]有研亿金新材料有限公司,北京102200 [2]北京化工大学,北京102200

出　　处：《中国金属通报》2020年第9期267-268,共2页China Metal Bulletin

摘　　要：半导体技术的迅速发展,对于高纯金属的靶材有着很大的需求,其中高纯铜靶材受到了极大的关注,而高纯铜对于纯度的要求很高,因此高纯铜中杂质含量的测定很有必要,国际上对于高纯铜中碳含量的要求是0.0001%,对于如何准确测定高纯铜中的碳含量做了方法探究,比较了分别用丙酮和硝酸前处理的高纯铜的测试,选取了同批次不同位置的样本来进行测试,并对测试结果进行比较分析。

关 键 词：高纯铜靶材 低碳含量 测定方法 

分 类 号：TG1159[金属学及工艺—物理冶金]