一种制备ppbv级水分杂质的电子级氯化氢气体的方法  

出　　处：《低温与特气》2020年第4期25-25,共1页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：申请(专利)号:201811415776.4公开(公告)日:2020-04-10申请(专利权)人:浙江博瑞电子科技有限公司摘要:本发明涉及高纯气体制备领域,具体关于一种制备ppbv级水分杂质的电子级氯化氢气体的方法;本发明方法公开的一种制备ppbv级水分杂质的电子级氯化氢气体的方法,本方法采用一种反应气体来吸收氯化氢中残存中的水,本方法中的反应气体与微量的水反应生产二氧化硅、硼酸和氢气等易于除去的组分。

关 键 词：氯化氢气体 反应气体 高纯气体 二氧化硅 电子科技 硼酸 杂质 

分 类 号：TQ1[化学工程]