系统阻尼对微型机械传感器性能的影响研究  

作　　者：张强 王晓光 陈兰 王满苹 

机构地区：[1]安阳学院航空工程学院,河南安阳455000 [2]鹤壁职业技术学院,河南鹤壁458000

出　　处：《科技风》2020年第26期127-128,188,共3页

摘　　要：系统频率稳定性与共振品质因数非常重要,二者是描述机械共振的关键性能指标。本文通过研究发现,降低品质因数能够提高微型机械共振传感器的频率稳定性。通过在一定的带宽下展示传感器的温度分辨率,指出低带宽中增加系统阻尼可带来更高的稳定性和传感器分辨率,从而可以对研发高性能超灵敏共振器提供帮助。The frequency stability and resonance quality factor of the system are very important.They are the key performance indexes to describe the mechanical resonance.In this paper,it is found that reducing the quality factor can improve the frequency stability of the micro mechanical resonance sensor.By displaying the temperature resolution of the sensor in a certain bandwidth,it is pointed out that increasing the system damping in the low bandwidth can bring higher stability and sensor resolution,which can help to develop high-performance super sensitive resonators.

关 键 词：传感器性能 微型机械 频率稳定性 温度分辨率 品质因数 系统阻尼 机械共振 共振传感器 

分 类 号：TP2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]