典型集成电路制造建设项目环境影响评价中工艺废气源强计算  

Waste Gas Source Strength Calculation in Environment Impact Assessment for Typical Integrated Circuit Production Project

作　　者：石翔 Shi Xiang

机构地区：[1]上海建科环境技术有限公司,上海200032

出　　处：《绿色建筑》2020年第6期51-54,共4页Green Building

摘　　要：总结了污染源源强的主要计算方法与适用条件。以典型集成电路芯片制造建设项目为例,分析识别主要工艺废气污染源和污染物,选取适用的核算方法,并将计算结果与实测数据比较。结果表明,工艺废气污染物的特性不同,核算方法的适用性和准确性不同,环境影响评价中建议对磷酸雾、硝酸雾、AsH3、PH3等选用物料衡算法,对处理过程转化产生的颗粒物和NOx等优先选用实测法,对硫酸雾、HCl、HF、NH3、TVOC、NMHC等选用较为保守的物料衡算法。

关 键 词：集成电路制造 物料衡算法 实测法 污染源 工艺废气源强 

分 类 号：X831[环境科学与工程—环境工程]