TiNi薄膜的形状记忆性能及其应用  

作　　者：刘士宇 时方晓[1] 

机构地区：[1]沈阳建筑大学材料与工程学院,辽宁沈阳110168

出　　处：《信息记录材料》2020年第11期14-17,共4页Information Recording Materials

基　　金：辽宁省省部级技术开发基金项目《中德被动式节能示范工程》(2014—H—011)。

摘　　要：TiNi合金薄膜由于其形状记忆特性等在相变过程中,伴随着力学,物理,化学,电学及光学性能的显著变化。此外,TiNi薄膜对环境的改变非常敏感,包括热场、应力场、电场以及磁场等,因此是一种可用于微型传感器的理想材料。本文对TiNi薄膜的形状记忆效应(SME)以及其目前领域的应用进行了综述,重点介绍了合金组分对磁控溅射法制备薄膜SME特性的影响,以及TiNi合金薄膜目前在微驱动器,如微泵、微阀、微钳等方面的应用,并对未来该研究领域的发展方向提出了一些看法。

关 键 词：TiNi薄膜 形状记忆效应 TiNi合金组分对相变的影响 微驱动器应用 

分 类 号：TB381[一般工业技术—材料科学与工程]