研磨机摇臂轴实验装置系统设计  

作　　者：张军[1] 王英英[1] 董会[1] 

机构地区：[1]中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳621900

出　　处：《机电信息》2020年第36期115-115,117,共2页

摘　　要：针对研磨机在化学机械抛光方面复杂参数的影响,通过对研磨机的改造与设计,使得研磨工件自转的同时又公转,且速度可调。现详细阐述了改造后摇臂轴结构原理,该结构在工件研磨时,速度可控,研磨轨迹均匀,有效解决了机械抛光中各点去除率差异等问题。

关 键 词：研磨机 摇臂轴 设计 

分 类 号：TQ050.2[化学工程]