一款弹簧式导向柱塞挡块替换方案设计  

Design of replacement scheme for Spring-guided plunger stop

作　　者：徐立华[1] XU Li-hua(Suzhou Institute of industrial Technology,Suzhou Jiangsu 215104,China)

机构地区：[1]苏州工业职业技术学院精密制造工程系,江苏苏州215104

出　　处：《装备制造技术》2020年第11期69-71,共3页Equipment Manufacturing Technology

摘　　要：对一款晶圆治具上的配件进行分析,找出其工作特性和性能要求,通过查找原有资料和数据设计了一种的替换结构,零件外形和尺寸设计便于加工,计算并选用了替换弹簧,通过然后通过零件的加工制造和配件装配测试,满足了使用要求。This paper analyzes the attachments on wafer processing and its working characteristics and performance requirements.By finding raw data and data to design replacement structures,part shape and size designs are easy to machine,replacement springs are calculated and selected,and parts are manufactured and part assembly tested to meet usage requirements.

关 键 词：非标配件 替换 结构 设计 

分 类 号：TH12[机械工程—机械设计及理论] TG43[金属学及工艺—焊接]