一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置  

出　　处：《低温与特气》2020年第6期21-21,共1页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：申请(专利)号:CN202020316318.1,公开(公告)日:2020-10-27,申请(专权)人:天苏州锐泽系统工程有限公司,摘要:本实用新型公开了一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置,包括工作台、气泵和液压缸,工作台的上端固定连接有两块侧板,气泵和液压缸均固定安装于其中一块侧板的一端侧壁上,液压缸的一端固定连接有连接板,连接板内设有腔室,气泵的出气端与腔室的顶部连通设置,其中一块侧板与腔室的相对侧壁上均连通设有多个一一对应设置的通气孔,多个通气孔内均安装有防尘板,两端对应设置的防尘板的相对侧壁上均固定连接有多根限位杆,侧板上的多个通气孔的一端均连通设有弹性气囊。

关 键 词：防尘板 连接板 实用新型 检漏装置 液压缸 系统工程 固定连接 通气孔 

分 类 号：F42[经济管理—产业经济]