基于FIB-SEM制备尖晶石微米颗粒的球差校正透射电镜样品  被引量:8

Preparation of spherical aberration corrected TEM samples of spinel micro-sized particles based on FIB-SEM

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作  者:王磊 曲迪 姬静远 白国人 WANG Lei;QU Di;JI Jing-yuan;BAI Guo-ren(Tianjin H-Chip Technology Group Corporation,Tianjin 300467;Innovation Center of Advanced Optoelectronic Chip,Institute for Electronics and Information Technology in Tianjin,Tsinghua University,Tianjin 300467,China)

机构地区:[1]天津华慧芯科技集团有限公司,天津300467 [2]清华大学天津电子信息研究院高端光电子芯片创新中心,天津300467

出  处:《电子显微学报》2021年第1期50-54,共5页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基  金:天津市支持京津冀科技成果转化项目(No.18YFCZZC00360);中新天津生态城2019年度科技型中小企业升级专项

摘  要:针对尖晶石微米颗粒材料,利用聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM),在传统透射电镜样品制备方法的基础上进行技术性改进,成功制备了高质量的球差校正透射电镜样品。并利用球差校正透射电镜成功观察到了尖晶石颗粒的截面原子结构,为更深入地研究尖晶石材料的结构和性能奠定了基础。Aiming at Spinel Micro-sized particles,the technology was improved based on the traditional TEM sample preparation method,and the high-quality spherical aberration corrected TEM(AC-TEM)samples were successfully prepared focused ion beam-scanning electron microscope dual-beam device(FIB-SEM).The atomic structure of Spinel Micro-sized particles was successfully observed by spherical aberration corrected TEM,which lays a foundation for further research on the structure and properties of Spinel Micro-sized particles.

关 键 词:聚焦离子束扫描电镜双束系统 微米颗粒 球差校正透射电镜样品 

分 类 号:TH73[机械工程—仪器科学与技术] O766.1[机械工程—精密仪器及机械]

 

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