关于指叉式微型硅加速度传感器的综述  

作　　者：朱洪德 沈雪明 

机构地区：[1]中国地质大学(北京)信息工程学院,北京100000

出　　处：《电子元器件与信息技术》2020年第11期5-6,共2页Electronic Component and Information Technology

摘　　要：本文对基于微机电系统(MEMS)的指叉式微机械硅加速度计(FMSA)进行了综述。本文展示了电容式加速度计的原理,提出了科学问题并尝试给出不同的解决方案,并介绍了在技术产品领域广泛使用的特定应用程序。

关 键 词：指型 硅加速度计MEMS 汽车安全气囊 Airpods MEMS麦克风 

分 类 号：V241.5[航空宇航科学与技术—飞行器设计]