纳米剪纸实现亚微米像素可重构纳米光机电器件  

作　　者：李家方 

机构地区：[1]北京理工大学

出　　处：《物理》2021年第4期267-267,共1页Physics

摘　　要：随着纳米制造技术的发展,微机电系统与纳米光子技术相结合,形成了国际前沿的纳米光机电系统 (NOEMS),在信息、电子、医学、工业、汽车、航空航天系统中应用广泛。但重构单元的小型化与提高调制深度之间不能兼顾,这大大限制了光机电调制的对比度,并导致亚微米像素的空间光调制存在技术瓶颈。

关 键 词：微机电系统 航空航天系统 可重构 调制深度 亚微米 国际前沿 像素 机电器件 

分 类 号：TB383.1[一般工业技术—材料科学与工程]