UV冷镜铝反射器的膜层研制  

作　　者：曹轶 田丹 关旭 郝天宇 杨振华 

机构地区：[1]沈阳沈大内窥镜有限公司,辽宁沈阳110000

出　　处：《中国新技术新产品》2021年第5期71-73,共3页New Technology & New Products of China

摘　　要：在紫外固化设备中,固化强度和速度是衡量紫外线利用率的重要指标,传统紫外固化灯用普通铝材做反射罩,紫外区(小于400 nm)反射能量低,红外区(大于700 nm)反射热量高,且铝材表面硬度低,抗腐蚀能力差。以紫外高反膜系设计理论为基础,通过非规整膜系优化设计金属+介质膜堆结构,在固定膜厚下试验算出单层金属膜光学常数。利用离子辅助和金属反应蒸发真空镀膜技术,优化各项工艺参数,在尺寸600 mm×400 mm×0.3 mm抛光氧化铝镁基材上镀多层紫外反射膜提升紫外线使用率,镀膜后裁剪至小尺寸热压成弧形反射灯罩,使紫外区平均反射大于95%,红外区反射能量降低了80%,表面抗氧化耐腐蚀,牢固度高可擦拭,产品外观对应紫外光呈现蓝紫色。工艺重复性高,适合批量生产。

关 键 词：薄膜光学 紫外高反 膜系设计 红外吸收 

分 类 号：TN246[电子电信—物理电子学] O484[理学—固体物理]