MOVPE设备真空技术及其故障分析  

作　　者：宋健[1] 张恒[1] 张启明[1] 刘如彬[1] 孙强[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第十八研究所化学与物理电源重点实验室,天津300384

出　　处：《设备管理与维修》2021年第9期41-43,共3页Plant Maintenance Engineering

摘　　要：介绍MOVPE技术的背景和理论基础,探讨MOVPE设备真空技术原理及常见故障分析方法,使工程技术人员能够深入了解控制原理,并能综合分析真空系统的各类型故障,辅助分析产品的缺陷,给MOVPE设备真空技术维修人员提供借鉴。

关 键 词：MOVPE设备 真空技术 蝶阀控制 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]