基于LEDIT的STEP光刻版数据图形自动排版  

作　　者：黄翔宇 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第五十五研究所,江苏省南京市210016

出　　处：《电子技术与软件工程》2021年第7期86-87,共2页ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING

摘　　要：本文通过C++语言对Ledit软件进行二次开发,采用面向对象的编程方法,实现光刻版版图的快速处理与布局的自动排布。通过生产实践,验证了自动排布程序能够有效缩短设计时间、提高设计效率,加速光掩膜制造的生产周期。

关 键 词：光刻板 自动排布 二次开发 C++ 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]