涡轮叶片上Al_(2)O_(3)薄膜的高温绝缘性能研究  

作　　者：崔成成[1] 蒋书文[1] 张万里[1] 

机构地区：[1]电子科技大学电子科学与工程学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都611731

出　　处：《信息记录材料》2021年第4期23-24,共2页Information Recording Materials

摘　　要：为了满足热电阻对涡轮叶片准确测温的要求,需要将叶片表面与热电阻进行高温绝缘。采用电子束蒸发的方法制备了不同层结构的氧化铝薄膜。然后利用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)研究了样品微观结构,并测试了其高温绝缘性能。结果表明:随着薄膜层数的增加,其结晶性能逐渐增强,截面结均匀性以及致密性逐渐增强,高温绝缘电阻显著增大。发现三层结构的氧化铝薄膜绝缘层通过600℃退火200min热处理后,在800℃左右温度下的绝缘电阻超过了43kΩ,满足了热电阻在高温环境下的电学绝缘要求,从而保证了涡轮叶片表面的准确测温。

关 键 词：Al_(2)O_(3)薄膜 绝缘电阻 XRD SEM 

分 类 号：TQ320.72[化学工程—合成树脂塑料工业]