第二十一讲真空卷绕镀膜  

No.21:Vacuum Roll-to-Roll Coating

作　　者：张以忱[1] 

机构地区：[1]东北大学,辽宁沈阳110004

出　　处：《真空》2021年第3期86-88,共3页Vacuum

摘　　要：(接2021年第2期88页)2.3电子束加热蒸发卷绕镀膜随着薄膜技术的广泛应用,采用电阻加热蒸发已不能满足蒸镀难熔金属和氧化物材料的需要,电阻加热方法的局限性一是来自坩埚、加热体以及各种支撑部件所可能带来的污染;二是电阻加热法的加热功率或温度也受到了一定的限制。因此电阻加热法不适用于高纯或难熔物质的蒸发。

关 键 词：薄膜技术 电阻加热 卷绕镀膜 电子束加热 氧化物材料 难熔金属 支撑部件 加热体 

分 类 号：O484[理学—固体物理] TB43[理学—物理]