中国首家300mm晶圆再生工厂在合肥量产  

出　　处：《中国集成电路》2021年第8期30-30,共1页China lntegrated Circuit

摘　　要：日前,安徽省合肥市人民政府发布消息称,合肥至微项目已正式量产,这是中国国内首个立项又最先量产的300mm晶圆再生工厂。据介绍,合肥至微项目总投资近10亿元,2020年3月正式开工,2020年12月项目设备基本搬入调试,2021年3月进入试生产阶段。该项目以14nm晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础,是服务于中国半导体高档市场的首条投产的300mm晶圆再生产线。该项目全面达产后,可形成每年168万片晶圆再生及120万件零部件清洗的能力,满产后年产值可超过6亿元。

关 键 词：晶圆厂 试生产阶段 安徽省合肥市 量产 项目总投资 微项目 正式开工 半导体 

分 类 号：F283[经济管理—国民经济]