面向微机械电子技术的自动化测量传感器设计  

Design of automatic measurement sensor for micro electro mechanical system

作　　者：卞丽情 BIAN Li-qing

机构地区：[1]广州应用科技学院,广州511370

出　　处：《制造业自动化》2021年第8期152-155,160,共5页Manufacturing Automation

摘　　要：微机械电子技术的深入发展给传感器设计带来巨大改变,传感器逐渐向着自动化、微型化发展,以便用于更加精细化作业当中。为此,设计一种面向微机械电子技术的自动化测量传感器。传感器设计包括两个部分,前一部分给出设计方案,主要包括敏感膜片、转换元件、信号调节转换电路、传感器接口电路以及工作程序等几个关键部分的理论设计;后一部分根据前一步设计方案制成传感器成品,并进行性能检测,判断所设计方案是否合理,成品是否能够达到合格标准。结果表明:精度、可靠性、灵敏度、非线性度、迟滞特性、重复性等各项检测结果均在合格标准规定的范围内,由此证明传感器设计方案合理,可以进行生产和制造。

关 键 词：微机械电子技术 自动化测量传感器 敏感膜片 转换元件 

分 类 号：TP136.8[自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]