下一代CMOS纳米线:从原子级到电路级仿真  

作　　者：Udita Kapoor Sean CKelly Mark Townsend Derek Kimpton Eric Guichard 欧阳文捷 Sebastien Martini Thierry Poiroux Oliver Rozeau James Charles Daniel Lemus Tillmann Kubis 

机构地区：[1]美国Silvaco公司 [2]法国CEA-Leti研究所 [3]美国普渡大学

出　　处：《中国集成电路》2021年第9期37-41,共5页China lntegrated Circuit

摘　　要：本文介绍了一个基于纳米线的环形振荡器电路的完整仿真流程,其中的有源器件运用了原子级器件模拟器对其进行了仿真。该仿真的结果已被证明适合于专门为纳米线/GAA环栅场效应晶体管(FET)制定的有源器件SPICE紧凑模型。最后,本文中把有源器件纳入SPICE网表,其中包括了后端电阻和电容寄生电阻。

关 键 词：TCAD仿真 原子器件仿真 SPICE仿真 硅纳米线FET 

分 类 号：TN386[电子电信—物理电子学]