纳米三坐标测量机研究进展  

作　　者：党威武[1] 

机构地区：[1]陕西国防工业职业技术学院智能制造学院,陕西西安710300

出　　处：《设备管理与维修》2021年第17期17-18,共2页Plant Maintenance Engineering

基　　金：陕西省教育科学“十三五”规划2020年度课题(课题批准号:SGH20Y1575,课题名称:基于智能检测技术的技能训练模块开发与应用)

摘　　要：随着纳米技术的发展,各种微型器件在纳米体系下表现出新的特征和功能,为了保证微型器件的产品生产与质量控制,高精度、小体积、纳米级三坐标测量机的研制与开发引起了科研工作者的极大关注。简要归纳和总结近些年国内外纳米三坐标测量机的发展状况,指出纳米三坐标测量机的技术指标,分析其提高测量精度的机理,为纳米三坐标测量机的进一步发展提供研究基础。同时简要展望纳米三坐标测量机的发展趋势,指出影响其测量精度的主要因素。

关 键 词：纳米 三坐标测量机 测量 

分 类 号：TH721[机械工程—仪器科学与技术]