编者按  

出　　处：《遥测遥控》2021年第5期I0001-I0001,共1页Journal of Telemetry,Tracking and Command

摘　　要：微系统技术融合了微电子、微机电和微光电技术,以系统架构和算法为核心,实现具备信号感知、信息处理、信令执行、互联通信和能源供给的一体化软、硬件多功能系统,并采用微纳制造及微集成工艺实现系统结构的微纳尺度化。它被公认为21世纪的革命性技术之一。

关 键 词：多功能系统 微系统技术 信息处理 光电技术 集成工艺 微纳制造 信号感知 微纳尺度 

分 类 号：TP3[自动化与计算机技术—计算机科学与技术]