稀土氧化物激光晶体超精密磨削机理及工艺研究  

作　　者：李琛[1] 张飞虎(指导) 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学 [2]不详

出　　处：《金属加工（冷加工）》2021年第8期I0030-I0030,共1页MW Metal Cutting

摘　　要：稀土氧化物激光晶体是制作固体激光器核心部件的首选材料,在加工过程中容易产生脆性破碎和裂纹等损伤,这些损伤会严重影响激光器的输出功率和使役寿命。实现稀土氧化物激光晶体的高效、高表面完整性加工成为固体激光器元件制造领域的瓶颈问题。针对典型的稀土氧化物激光晶体,基于从准静态纳米压痕和划痕实验到高应变率条件下的磨削实验、从材料力学性能和材料去除机理到形成超精密磨削加工工艺的研究思路,系统地开展了稀土氧化物激光晶体纳米压痕/划痕以及超精密磨削等方面的研究工作,获得了以下研究成果。

关 键 词：激光晶体 固体激光器 稀土氧化物 纳米压痕/划痕 超精密磨削 材料去除机理 表面完整性 元件制造 

分 类 号：TN248.1[电子电信—物理电子学] O786[理学—晶体学]