透明导电薄膜(Ⅱ):多元透明导电氧化物薄膜  

Transparent conductive film(Ⅱ)——Multicomponent transparent conductive oxide films

作　　者：闫彩波 周艳文[1] 王鼎 杨东明 YAN Caibo;ZHOU Yanwen;WANG Ding;YANG Dongming(School of Materials and Metallurgy,University of Science and Technology Liaoning,Anshan 114051,China)

机构地区：[1]辽宁科技大学材料与冶金学院,辽宁鞍山114051

出　　处：《辽宁科技大学学报》2021年第3期161-170,共10页Journal of University of Science and Technology Liaoning

基　　金：国家自然科学基金(51972155、51672119、51372109、51172101、50872048);辽宁科技大学大学生创新创业训练计划(202010146001S)。

摘　　要：透明导电薄膜具有可见光区透光及一定的导电性,包括金属基、氧化物基及其他化合物基透明导电薄膜等。以多元氧化物基透明导电氧化物(TCO)薄膜为对象,综述其组份、组织、相结构、禁带宽度、光电性能等方面的研究进展,并对多元和掺杂TCO薄膜的光电性能进行比较。Transparent conductive films based on metals,oxides,and other compounds have high visible transparency and semi-conductive properties.The composition,morphology,phase structure,band gap,optical and electrical properties of multicomponent transparent conductive oxide(TCO)films are reviewed,and their optical and electrical properties are compared with those of the traditional doped TCO films.

关 键 词：TCO薄膜 多元组份 结构 禁带宽度 光电性能 

分 类 号：TB303[一般工业技术—材料科学与工程]