多种方法测量微细线径  

作　　者：程铭辉 王曾 张艳丽[1] 王心妍 陈涛 廖俊均 

机构地区：[1]桂林电子科技大学材料科学与工程学院,广西桂林541004

出　　处：《科学技术创新》2021年第27期42-44,共3页Scientific and Technological Innovation

基　　金：2020年自治区级大创项目“多种方法测微细线径的研究与比较”(202010595087)。

摘　　要：本文选用分光计、迈克尔逊干涉仪、CCD测径仪三种测量仪器对2.5mm、2mm、1.5mm、1mm四种细丝进行直径测量综合实验,从三种仪器的理论基础、操作方法、实验结果和误差分析四个方面进行分析和比较。结果表明三种仪器都能进行微细线径的测量,测得的结果都接近标准值,其中CCD测量微细线径最接近标准值。

关 键 词：微细线径 迈克尔逊干涉仪 分光计 CCD测径仪 

分 类 号：TH74[机械工程—光学工程]