单晶式多晶体纳米金刚石薄膜的电子特性  

作　　者：朱泓达 

机构地区：[1]伦敦大学学院,伦敦WC1H0AQ

出　　处：《科学技术创新》2021年第30期42-44,共3页Scientific and Technological Innovation

摘　　要：在人工合成金刚石技术日益成熟的背景下,纳米级的金刚石颗粒因其优越的性能,在工业、医学、半导体等领域得到了广泛应用。金刚石薄膜是一种常见的人工合成材料,既保留了金刚石的硬度,同时还具有良好的导热性、化学稳定性、光学透明性,在半导体材料、航空航天工业、大规模集成电路等方面应用前景广阔。本文以纳米金刚石薄膜的电子特性作为切入点,着重分析了不同晶粒尺寸下,分别加入了Si、P和B元素后薄膜的电子特性,为纳米金刚石薄膜的研发和应用提供了一定的参考。

关 键 词：纳米金刚石膜 费米能级 电子特性 带隙宽度 

分 类 号：TQ164[化学工程—高温制品工业]