螺旋波等离子体及其金属材料表面清洗综述  

作　　者：汤栋 刘玉 

机构地区：[1]成都大学机械工程学院,四川成都610064

出　　处：《现代盐化工》2021年第5期5-6,共2页Modern Salt and Chemical Industry

摘　　要：随着工业技术的发展,等离子体已被广泛应用于微细加工的离子束刻蚀技术、等离子体材料表面改性技术、等离子束材料表面镀膜技术以及螺旋波等离子体推进器等领域,因此,等离子体对每个相关领域的进一步发展具有重大影响。介绍了螺旋波等离子体中带电介质单色平面波的色散关系、螺旋波等离子体的产生机制及特性,探究了影响等离子体密度的相关因素,分析了螺旋波等离子中电子、离子和自由基在金属材料表面清洗过程中的作用,对比了辉光放电等离子体与大气压射流等离子体清洗。

关 键 词：螺旋波等离子体 金属材料表面清洗 等离子体密度 辉光放电等离子体 

分 类 号：TG178[金属学及工艺—金属表面处理] O53[金属学及工艺—金属学]