浅谈超纯氩气工艺流程设计  

Brief Discussion on Process Flow Design of Ultra-pure Argon

作　　者：董涛[1] 苏耀华 蔡晋 任少科[1] 姜涛[1] 张宏雷 高天龙[1] DONG Tao;SU Yaohua;CAI Jin;REN Shaoke;JIANG Tao;ZHANG Honglei;GAO Tianlong(Zhonghao Guangming Research and Design Institute of Chemical Industry Co. , Ltd. , Dalian 116031, China)

机构地区：[1]中昊光明化工研究设计院有限公司,辽宁大连116031

出　　处：《低温与特气》2021年第5期26-27,37,共3页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：对超纯氩气的工艺流程设计进行了探讨,包括低温泵、汽化器的选型,纯化器、充装位及真空系统的设计等。The process flow design of ultra-pure argon is discussed,including the selection of low temperature pump and vaporizer,the design of purifier,filling position and vacuum system.

关 键 词：超纯氩气 工艺流程 设计 

分 类 号：TQ117[化学工程—无机化工]