直线超声马达运动系统的基本原理及故障分析  

Basic Principle and Fault Analysis of the Linear Ultrasonic Motor Motion System

作　　者：任泽生 郝晓亮[1] 吴海[1] 翟玉卫[1] REN Ze-sheng;HAO Xiao-liang;WU Hai;ZHAI Yu-wei(The 13th Research Institute,CETC,Shijiazhuang 050051,China)

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051

出　　处：《内燃机与配件》2021年第24期79-81,共3页Internal Combustion Engine & Parts

基　　金：河北省省级科技计划资助-NBL电子束光刻机自主维修关键技术研究课题(课题编号:20351803D)

摘　　要：介绍了一种直线超声马达的特点及原理,在分析其控制系统的基础上,概述了超声马达在设备中的接线结构及控制理论,总结了直线超声马达系统的常见故障,并提出了各种故障的处理措施。Introduces the characteristics and principles of the linear ultrasonic motor in the alignment tester.Based on the analysis of its control system,the wiring structure and control theory of the ultrasonic motor in the equipment are summarized,and the common faults of the ultrasonic motor system are summarized.Proposes various troubleshooting measures.

关 键 词：超声马达 驱动足 差分连接 运动偏差 

分 类 号：U472.43[机械工程—车辆工程]