基于自研半导体器件虚拟仿真平台的“微电子器件物理”课程探索  

作　　者：王一娇 曾琅[1] 

机构地区：[1]北京航空航天大学集成电路科学与工程学院,北京100191

出　　处：《工业和信息化教育》2021年第12期77-81,共5页Industry and Information Technology Education

基　　金：2020年北京航空航天大学校级一般教改项目“TCAD在半导体器件教学中的运用”(项目编号:暂无)。

摘　　要：作为微电子、集成电路专业本科高年级学生和研究生的核心专业课程,"微电子器件物理"专业课程的作用十分重要。针对"微电子器件物理"课程中物理机制内容晦涩难懂的问题,基于自研半导体器件虚拟仿真平台设计了相关教学内容和仿真实验,讨论并展示了平台简单易使用的优势及其在教学中对学生理解理论知识的促进作用,对提升人才培养质量进行了新探索。

关 键 词：虚拟仿真平台 微电子器件物理 可视化软件 教学改革 

分 类 号：G642[文化科学—高等教育学]