三氟化氮充装系统设计和安全讨论  

Design and Safety Discussion of Nitrogen Trifluoride Filling System

作　　者：李贤武 王娟 赵冰 李梅 何伟国 LI Xianwu;WANG Juan;ZHAO Bing;LI Mei;HE Weiguo(Haohua Gas Co. , Ltd. , Luoyang 471000, China)

机构地区：[1]昊华气体有限公司,河南洛阳471000

出　　处：《低温与特气》2021年第6期12-16,共5页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：介绍一种电子气体NF3的充装流程、设备及厂房的选择,并讨论了充装过程安全设计的要点。This paper introduces the NF3 filling process,equipment and plant selection in detail,and discusses the key points of safety design of filling process.

关 键 词：三氟化氮 充装 流程设计 安全 

分 类 号：TQ086.3[化学工程]