电感测微仪测量不确定度评定  

作　　者：罗聿斌 刘涛 董宁 蒋蜓露 姚洁峥 

机构地区：[1]浙江省金华市计量质量科学研究院

出　　处：《中国计量》2022年第2期108-109,共2页China Metrology

摘　　要：一、测量原理电感测微仪由主机台、高精度位移传感系统、机械运动系统、工件装夹系统、控制及数据处理系统、工业人机界面及应用软件等组成,结构如图1所示。本文选用3等量块,利用相对法对电感测微仪的测量误差进行校准。二、测量方法电感测微仪的测量误差校准以第一块量块对准零位,测得第二块量块受检点的测量误差,再以第二块量块对准零位,测得第三块量块受检点的测量误差。以此类推,直至所需配对的最后一块量块。

关 键 词：电感测微仪 量块 数据处理系统 机械运动 测量不确定度评定 误差校准 工件装夹 应用软件 

分 类 号：TM934.4[电气工程—电力电子与电力传动]