痕量气体超高灵敏检测新原理研究  

作　　者：无 董磊 武红鹏 马维光 张雷 尹王保 贾锁堂 

机构地区：[1]山西大学 [2]中国光学学会环境光学专业委员会 [3]不详

出　　处：《中国科技成果》2022年第3期7-7,9,共2页China Science and Technology Achievements

基　　金：国家科技支撑计划课题(编号:2013BAC14B01);国家863计划课题(编号:2009AA063006);优秀青年科学基金项目(编号:61622503);国家自然科学基金项目(编号:61275213)的支持和资助。

摘　　要：痕量气体通常是指体积浓度低于百万分之一(≤ppm量级)的气体.痕量气体检测属于重大需求,在环境、生产、安全、科研各个方面都有重要应用:燃煤发电和汽车尾气排放,导致大气中存在痕量的二氧化硫、氮氧化物、一氧化碳、氨气等污染气体,需要对其进行ppb量级的高灵敏监测;芯片的规模制造和封装,需要对ppm量级的水汽含量进行快速在线检测,以免芯片内部短路和电迁移等危害;港口、机场的安检必须对ppb量级的有毒有害气体进行快速的高灵敏检测;空间站内为预防火灾发生,必须对ppm量级的一氧化碳、氢氰酸、氯化氢气体实施快速监测;中国探月工程中,实现对月球两级水冰的研究,需要对ppb量级的水汽进行超高灵敏检测.因此,必须发展能够进行实时在线快速检测的超高灵敏传感器,以服务国家和区域经济发展,助力山西省大气环境改善、生态环境治理和经济转型升级.

关 键 词：高灵敏检测 一氧化碳 有毒有害气体 氯化氢气体 痕量气体 体积浓度 快速监测 电迁移 

分 类 号：O65[理学—分析化学]