电镜工作条件对特殊样品荷电及热损伤效应的影响  

作　　者：何昌伟 戴琨 熊克智 谭煜炜 邱海林 叶洁云[1] 

机构地区：[1]江西理工大学材料冶金化学学部,江西赣州341000

出　　处：《科技与创新》2022年第7期114-117,共4页Science and Technology & Innovation

基　　金：江西理工大学校级大学生创新创业资助项目“基于纳米尺度材料表征的场发射扫描和电子背散射技术研究”(编号:DC2019-024)。

摘　　要：扫描电子显微镜主要用于样品显微结构的表征分析,在科研和实际工作中应用广泛。荷电现象与热损伤是最常见的严重影响到SEM图像质量的2种现象,它会造成图像的反差异常、形变等,在导电性不好或热敏性强的样品形貌表征中极为常见。以几种导电性较差样品,如无机非金属材料和有机纳米材料等为对象,通过实验比对后发现,通过加速电压、探头选择、信号选择、图像采集方式等参数的调节能够有效减轻SEM图像的荷电现象;以热敏性较强的钢、铝合金为对象,通过实验比对后发现,通过加速电压、探头选择、工作距离WD等参数的调节能够有效减轻SEM图像的热损伤现象,从而提高图像质量,获得更为真实的显微结构信息。

关 键 词：场发射扫描电子显微镜 荷电现象 热损伤 加速电压 

分 类 号：TM201.3[一般工业技术—材料科学与工程]