高温金属基上Al_(2)O_(3)/CeO_(2)/Al_(2)O_(3)复合绝缘层的制备及绝缘性能研究  

作　　者：彭小龙 蒋书文[1] 张万里[1] 

机构地区：[1]电子科技大学电子科学与工程学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都611731

出　　处：《信息记录材料》2022年第3期69-71,共3页Information Recording Materials

摘　　要：为进一步提高镍基高温合金表面绝缘层的高温热绝缘性能,改善航空发动机在工作过程中应变传感器的性能稳定性,在 Ni 基基带表面通过直流反应溅射的方式先后制备 Al_(2)O_(3)、CeO_(2)、Al_(2)O_(3)3 层绝缘层,得到 Al_(2)O_(3)/CeO_(2)/Al_(2)O_(3)复合绝缘层,并通过 XRD、SEM 表征方法对制备的样品进行微观结构分析,最后对绝缘层进行高温绝缘性能测试。结果表明,最终制备的复合绝缘层表面十分致密,未见脱落现象,具有良好的高温绝缘性,400 ℃绝缘电阻 100.1 KΩ、600 ℃绝缘电阻 19 KΩ、800 ℃绝缘电阻 10 KΩ。相对单层 Al_(2)O_(3)绝缘层的绝缘电阻提升了两个数量级,满足了薄膜应变计在高温条件下的电绝缘要求,提高了应变测量可靠性。

关 键 词：CeO_(2) Al_(2)O_(3) 复合绝缘层 高温应变 直流反应溅射 

分 类 号：TQ17[化学工程—硅酸盐工业]