双频激光干涉仪的应用研究综述  

Review of application research of dual frequency laser interferometer

作　　者：于海娇 Yu Haijiao(School of electrical information engineering,Jilin Institute of architecture and technology,Changchun Jilin,130114)

机构地区：[1]吉林建筑科技学院电气信息工程学院,吉林长春130114

出　　处：《电子测试》2022年第8期124-126,共3页Electronic Test

基　　金：吉林建筑科技学院2020年度校级科研项目“基于高精度非球面面形检测的对准方案研究(校科字[2020]008号)”研究成果。

摘　　要：本文对双频激光干涉仪在以上领域中的应用进行了分析研究。In this paper,the application of dual frequency laser interferometer in the above fields is analyzed and studied.

关 键 词：双频激光干涉 精密测量 应用 

分 类 号：TP216[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]