原子力显微术测量二硫化钼片层材料厚度的方法研究及不确定度评定  

作　　者：朱晓阳[1] 郭延军[1] 高洁[1] 

机构地区：[1]国家纳米科学中心

出　　处：《中国计量》2022年第6期64-66,137,共4页China Metrology

基　　金：科技部国际科技合作项目,编号:2018YFE0117200。

摘　　要：纳米尺度的检测与表征是纳米科技得以发展的必要条件,对于纳米材料,其独特的电学、光学等特性吸引了科学家的广泛关注,这些材料的厚度对其性能起着决定性的作用。而原子力显微镜(AFM)作为一种新型的表面检测仪器,主要通过检测探针与样品之间的相互作用力进而在纳米尺度范围内获得纳米材料表面形貌信息。

关 键 词：纳米科技 纳米材料 原子力显微术 材料厚度 相互作用力 不确定度评定 检测仪器 二硫化钼 

分 类 号：TQ136.12[化学工程—无机化工] TB383.1[一般工业技术—材料科学与工程]