电子级多晶硅生产技术分析  

作　　者：马亚苹 

机构地区：[1]不详

出　　处：《中国粉体工业》2022年第3期11-13,共3页China Powder Industry

摘　　要：电子级多晶硅是制造半导体硅片最基础和最主要的原材料之一,被称为电子信息产业的“粮食”。本文介绍了常见的电子级多晶硅生产技术,分析了电子级多晶硅在生产过程中的关键工艺,并指出在生产电子级多晶硅时应注意事项。

关 键 词：电子级多晶硅 改良西门子法 硅烷法 生产工艺 

分 类 号：F42[经济管理—产业经济]